[省本级]江西省鼎跃招标咨询有限公司关于南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心双轴晶圆减薄机与800千瓦双头螺杆机制冷机采购项目(采购编号：JXDY2018-C0047)竞争性磋商采购公告
[2018-11-07]
江西省鼎跃招标咨询有限公司受南昌大学的委托，就南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心双轴晶圆减薄机与800千瓦双头螺杆机制冷机采购项目(采购编号：JXDY2018-C0047)进行竞争性磋商采购, 欢迎符合资格条件的供应商参加磋商。
一、 项目名称：南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心双轴晶圆减薄机与800千瓦双头螺杆机制冷机采购项目
二、 采购编号：JXDY2018-C0047
三、 采购项目内容、数量及清单：
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采购条目编号 |
采购条目名称 |
数量
（单位） |
预算金额
（人民币/元） |
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赣购2018F000076068 |
科研 双轴晶圆减薄机 |
1台 |
1600000.00 |
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赣购2018F000073343 |
科研 800千瓦双头螺杆机制冷机 |
1台 |
580000.00 |
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预算金额合计 |
2180000.00 |
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设备采购清单及简要技术说明 |
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序号 |
设备名称 |
数量 |
简要技术需求 |
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1 |
科研 双轴晶圆减薄机 |
1台 |
一、 设备名称及用途
1.名称：双轴晶圆减薄机；
2.设备主要用于2"、4"、6"硅晶圆或其它硬脆材料的薄化处理工艺。
二、 加工质量要求（6"）
1.厚度变化量TTV≤3um；
2.不同片之间厚度变化量WTW≤±3um；
4.表面无减薄损伤，烧伤，异常，沾污，破坏等情况；
5.边缘无崩边破损现象。
三、 主要技术指标和设备结构性能要求
1技术要求：
1.1.设备能满足2"、4"、6"圆片产品的磨片要求；
1.2.适合加工厚度:300um-2300um,（1800um以上厚度测量仪报警失效）最薄可以加工到150um；
1.3.适合产品类型：缺口和平边定位的晶圆产品；
1.4.在发生动力异常,操作使用过程各种可能操作失误等情况下均能保证产品安全,机台安全和人身安全；
1.5.满足各部分可以单独方便使用或调试；
1.6.机台要求品种切换时,磨轮更换时间:＜60Min；各机械PAD更换调试时间＜15Min；
1.7.在1万级无尘室能保证加工质量达到上述加工质量要求指标要求。
四、 出厂标准配置
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名称 |
规格型号 |
单台配置数量 |
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整机设备 |
定制型 |
1台 |
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专用砂轮（承片台修正用） |
270# |
1个 |
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粗磨轮 |
800# |
1个 |
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精磨轮 |
2000# |
1个 |
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磨轮修正盘 |
用于磨轮修正 |
1件 |
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设备维护工具 |
用于设备维护 |
1套 |
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说明书及技术图纸 |
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1套 |
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水环真空系统 |
最大气量0.86m3/min,极限真空度-0.098MPa, |
1套 |
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空气过滤装置 |
3um，1um，0.1um三级过滤 |
1套 |
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清洗油石 |
手持式，用于清洗承片台 |
1个 |
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2 |
科研 800千瓦双头螺杆机制冷机 |
1台 |
一．设备参数及需求如下：
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采购设备规格与技术参数 |
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序号 |
数量 |
台 |
1 |
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1 |
单台制冷量 |
kW |
1100（±5%） |
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2 |
冷冻水进/出水温度 |
℃ |
12℃/7℃ |
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3 |
冷却水进/出水温度 |
℃ |
30℃/35℃ |
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4 |
冷冻水量 |
（M^3/h） |
200±10% |
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5 |
冷却水量 |
（M^3/h） |
220±10% |
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6 |
制冷剂 |
/ |
HFC-134a |
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7 |
使用电源 |
/ |
380V/3Φ/50Hz |
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8 |
机组输入功率 |
kW |
185±5% |
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9 |
冷却水最低运行范围 |
℃ |
≤20 |
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10 |
噪声值 |
dB(A) |
＜85 |
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11 |
100%负荷时COP值 |
kW/ kW |
≥5.8 |
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12 |
NPLV值（ARI工况） |
kW/ kW |
＞6 |
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13 |
冷冻水最高设置温度 |
℃ |
≤10 |
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14 |
双机头功率分配范围 |
% |
15-100无级能量调节 |
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15 |
启动方式 |
/ |
星三角启动 |
二、技术要求
1.机组能耗必须符合国家GB标准《冷水机组能效限定值及能源效率等级》（GB19577-2004）规定的节能评价值——能效等级1级。
2.整体要求
2.1.冷水机组应为整装式结构，即在工厂完成机组的所有制造和性能检验测试工作，安装现场完全不需要再进行制冷系统组装和制冷剂充装工作；
2.2.机组主要由制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、润滑系统、控制系统、保护系统、节流装置等组成。机组各零部件的安装应牢固、可靠，制冷压缩机应有防振动措施。机组运转时无异常响动，管路间或管路与零部件间不应有相互摩擦和碰撞；
2.3.机组的隔热层应有良好的隔热性能，在正常工作时表面不应有凝露现象；
3.主要部件
3.1.压缩机
3.1.1.应采用半封闭螺杆式压缩机，压缩机绝缘等级不低于F级，电机密封保护等级不低于IP54。压缩机的螺杆、轴承必须为进口，且运行寿命不小于10万小时；
3.1.2.每台机组的制冷量应能在一定范围内无级调节，双机头机组不低于15%-100%无级调节范围；
3.1.3.润滑油采用压差供油方式，无需油泵，多压缩机之间无需油平衡管路。
3.2.蒸发器、冷凝器
3.2.1.蒸发器应采用满液式，冷凝器采用壳管式，冷凝器和蒸发器与冷水机组应为同品牌，外壳采用优质碳钢板制造，内铜管均应采用优质无缝紫铜管。蒸发器内应有防液态冷媒流向压缩机的装置。冷凝器和蒸发器必须由国家认可资质的质量技术监督部门出具的压力容器使用证和特种设备检查检验部门出具的安全检验合格证。蒸发器的制作及试验应符合国家标准。冷凝器和蒸发器制成后，应经过气压强度试验和氦质谱泄漏试验，确保换热器的强度和密封性。冷却水和冷冻水进出水管带中国标准卡箍或法兰。接管可按施工图示方向现场调整。
3.2.2.机组水系统承压：冷凝器不应低于1.0MPa，蒸发器不应低于1.0MPa。 |
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产地类型：国产。
一、 供应商资格标准和要求：
1）具有独立承担民事责任的能力；
2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
4）具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
6）法律、行政法规规定的其他条件：供应商未被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的和未被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的）。
二、 供应商其他要求：不接受联合体方式参与本项目。
三、 获取磋商文件时间和地址：有意向的供应商可从2018年11月7日起至2018年11月13日(节假日除外)09:00～12:00，14:30～17:00 (北京时间)在江西省鼎跃招标咨询有限公司（江西省南昌市抚河北路117号人民日报大厦13楼）获取竞争性磋商文件（磋商文件每份200元人民币，售后不退，购买磋商文件时须提供单位介绍信或法人授权委托书原件）。
四、 磋商地址：江西省鼎跃招标咨询有限公司（南昌市抚河北路117号人民日报大厦13楼）。
五、 递交首次磋商响应文件的截止时间和磋商时间：2018年11月19日9:30时（北京时间）。
六、 代理服务费：由成交供应商支付，详见磋商文件“供应商须知”。
七、 联系方式
1）采购单位：南昌大学
地址：学府大道999号南昌大学前湖校区
联系电话：0791-83969364
2）采购代理机构：江西省鼎跃招标咨询有限公司
地址：江西省南昌市抚河北路117号人民日报大厦12-13楼
联系人：余启凡、刘霞
联系电话：0791-87915291
电子邮箱：574514725@qq.com
江西省鼎跃招标咨询有限公司
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